| 摘要 |
<p>Bei einer Beschick-/Entnahmeeinheit für Reinraumanlagen (1) mit Prozessstationen (8) für Substrate (11) mit mehreren längs gegenüberliegender Seiten eines Übergabekanals (14) anzudockenden Transportboxen (8) und Substratstapelträger (10) werden die Substrate (11) jeweils gestapelt zwischen den Transportboxen (18) und den Substratstapelträgern (10) umgesetzt.</p> |
