回折光学素子及び測定方法

摘要

基板(52)、及びこの基板上に配置された回折構造パターン(54)を有する回折光学素子(50)が提供される。この回折構造パターンは、当該回折構造パターン上に放射される平面波または球面波の入力波(42)を少なくとも４つの別個の出力波に変換し、出力波のうち少なくとも１つは非球面波(56)であり、出力波のうち少なくとも他の１つは球面波(58,70)であり、出力波のうち少なくとも他の２つのそれぞれは、平面波(60)または球面波(72,74)である。