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<p>본 발명은, 원료 가스의 공급량의 변동을 방지하여, 원료 가스의 중합 반응에 의해 성막되는 폴리이미드막을 연속해서 안정적으로 성막할 수 있는 성막 장치를 제공한다. 기판에 폴리이미드막을 성막하는 성막 장치에 있어서, 제1 원료 가스를 기판에 공급하기 위한 제1 기화기(21)와, 제2 원료 가스를 기판에 공급하기 위한 제2 기화기(41)와, 제1 기화기의 내부의 압력을 측정하기 위한 제1 압력 계측부(M1)와, 제2 기화기의 내부의 압력을 측정하기 위한 제2 압력 계측부(M11)와, 제1 압력 계측부(M1)에 의해 측정한 제1 데이터에 기초하여 제1 원료 가스의 공급량을 산출하고, 제2 압력 계측부(M11)에 의해 측정한 제2 데이터에 기초하여 제2 원료 가스의 공급량을 산출하고, 산출한 제1 원료 가스의 공급량과 산출한 제2 원료 가스의 공급량이 각각 일정해지도록, 제1 기화기(21) 및 제2 기화기(41)를 제어하는 제어부(60)를 갖는다.</p> |
