| 摘要 |
本发明之课题是提供一种可正确地检测出保持在被加工物保持手段之半导体晶圆等之被加工物中所设定之区域之高度位置的高度位置检测装置。本发明之解决手段为一种可检测出保持于工作夹台上之被加工物之高度位置的高度位置检测装置，包含：传送在被加工物上反射并在光纤耦合器分歧之回授光的单模光纤、接收由单模光纤发出之回授光并将与所接收之光的强度对应的信号输出的光接收元件、以及具备用以储存设定有波长和高度关系之表的记忆体的控制手段。控制手段可与法比-培罗特可调式滤波器扫描单一波长的光之预定周期同步，求出光接收元件所接收之单一波长的光的波长，并将波长与记录于表的波长和高度对照，藉此求出保持于工作夹台上之被加工物的高度位置。 |
