微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器，由单模光纤和多模光纤构成，多模光纤带凹腔的端面与单模光纤的一个端面熔接形成FP腔。其制作步骤是：将两光纤切出平端面并研磨抛光；将研磨后的多模光纤的端面插入HF酸缓冲溶液中腐蚀形成凹腔，在与单模光纤研磨抛光的端面熔接，形成法珀腔结构；切割多模光纤至所需薄膜厚度。本发明由多模光纤的凹腔底面和单模光纤的端面构成FP腔，光经过光纤直接进入FP腔，避免了其他介质对光路的影响；传感器制作材料为普通的单模、多模光纤，价格便宜。制作过程仅采用切割、腐蚀、熔接的方法，传感器机械性能高，制作简单。因此，借助本发明可以实现制作简便，精度高，灵敏度高，可靠性好的光纤压力传感器。

主权项

1、一种微型非本征法布里-珀罗型光纤压力传感器，由一根单模光纤和一根多模光纤构成，其特征是：所述单模光纤和多模光纤均为裸光纤，多模光纤的一个端面带有凹腔，多模光纤带凹腔的端面与单模光纤的一个端面熔接形成FP腔。