发明名称 BATCH EQUIPMENT ROBOTS AND METHODS OF STACK TO ARRAY WORK-PIECE TRANSFER
摘要
申请公布号 EP2155590(A1) 申请公布日期 2010.02.24
申请号 EP20080755244 申请日期 2008.05.09
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 BACHRACH, ROBERT, Z.;TEPMAN, AVI;POLYAK, ALEXANDER, S.
分类号 B65G57/00;B65H29/00 主分类号 B65G57/00
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利