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发明名称
BATCH EQUIPMENT ROBOTS AND METHODS OF STACK TO ARRAY WORK-PIECE TRANSFER
摘要
申请公布号
EP2155590(A1)
申请公布日期
2010.02.24
申请号
EP20080755244
申请日期
2008.05.09
申请人
APPLIED MATERIALS, INC.
发明人
BACHRACH, ROBERT, Z.;TEPMAN, AVI;POLYAK, ALEXANDER, S.
分类号
B65G57/00;B65H29/00
主分类号
B65G57/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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