在基于场效应晶体管的气体传感器中测量气体和/或最小化横向灵敏度的方法

摘要

一种用于在基于FET的气体传感器中测量气体的方法，该气体传感器的传感器信号通过敏感层上的逸出功的变化产生，其中除了读取所述逸出功变化之外还分析该敏感层的电容变化。

主权项

1.一种用于在基于FET并具有悬浮栅极的气体传感器中测量气体和使横向灵敏度最小化的方法，其中所述基于FET并具有悬浮栅极的气体传感器的传感器信号通过敏感层上选出功的变化产生，其中除了读取所述选出功的变化之外，还分析所述敏感层的电容变化；其特征在于，为了读取所述敏感层的电容，在SGFET或CCFET的栅极上施加交流电压，其中源极/漏极电流具有取决于敏感层电容的交流电压成分。