| 发明名称 | 为测量系统确定队列匹配问题和根本原因要点 | ||
| 摘要 | 公开了用于确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法、系统和程序产品。本发明实现了用于分析匹配问题的真实参数，包括单工具精度、工具对工具非线性、以及工具对工具偏差。然后，实现将这些参数组合为单值的底线工具匹配精度尺度。本发明还包括用于确定匹配问题的根本原因(s10)、以及用于确定队列测值精度尺度(s4)的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN101460944A | 申请公布日期 | 2009.06.17 |
| 申请号 | CN200680006151.1 | 申请日期 | 2006.02.22 |
| 申请人 | 国际商业机器公司 | 发明人 | 查尔斯·N·阿奇;小乔治·W·班克;埃里克·P·索利基 |
| 分类号 | G06F17/18(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 邸万奎;黄小临 |
| 主权项 | 1、一种确定正在测试的测量系统(MSUT)是否匹配包括至少一个其它测量系统的队列的方法，该方法包括如下步骤：基于包括人工制品的MSUT测值与基准测量系统(BMS)对该人工制品的基准测值之间的斜率引起的偏移偏差(SISOffset)、以及对MSUT和BMS进行比较的线性回归分析的非线性(σnon-linearity)的参数组，来计算工具匹配精度(s1)；以及确定所述工具匹配精度是否满足匹配阈值(s2)，其中，在满足所述匹配阈值的情况下，视为所述MSUT是匹配的。 | ||
| 地址 | 美国纽约阿芒克 | ||