摘要 |
Verfahren zur berührungslosen kapazitiven Dickenmessung an einem Flachmaterial (10), das sich im Randfeld (32) eines Kondensators (C1, C2) befindet, mit gleichzeitiger Messung der Breite eines Luftspaltes (16) zwischen dem Flachmaterial und den Kondensatorplatten, dadurch gekennzeichnet, daß die Kapazitäten zweier Kondensatoren (C1, C2) gemessen werden, deren Randfelder (32) in Richtung auf das Flachmaterial (10) unterschiedlich schnell abfallen, und daß sowohl die Dicke des Flachmaterials (10) als auch die Breite des Luftspaltes (16) anhand der Bedingung bestimmt werden, daß für jeden Kondensator (C1, C2) die gemessene Kapazität gleich dem Integral des Kapazitätsgradienten über die Dicke des Flachmaterials (10) ist.
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