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发明名称 INSERT PIECE FOR AN END-BLOCK OF A SPUTTERING INSTALLATION
摘要
申请公布号 EP2030221(A1) 申请公布日期 2009.03.04
申请号 EP20070730105 申请日期 2007.06.13
申请人 BEKAERT ADVANCED COATINGS 发明人 VAN DE PUTTE, IVAN;DE BOSSCHER, WILMERT
分类号 H01J37/34 主分类号 H01J37/34
代理机构 代理人
主权项
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