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发明名称
A METHOD AND APPARATUS FOR CONDITIONING A POLISHING PAD
摘要
申请公布号
KR100876990(B1)
申请公布日期
2009.01.07
申请号
KR20077003223
申请日期
2007.02.09
申请人
发明人
分类号
B24B53/017;B24B37/10;B24B53/12;H01L21/304
主分类号
B24B53/017
代理机构
代理人
主权项
地址
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