发明名称 |
一种碳纳米管制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种碳纳米管制造方法,其包括下列步骤:提供一基底;在所述基底表面形成一复合膜层,该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层;将所述复合膜层进行热处理,形成含有金属碳化物的催化剂层;在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。 |
申请公布号 |
CN100445202C |
申请公布日期 |
2008.12.24 |
申请号 |
CN200510036918.2 |
申请日期 |
2005.08.26 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
吕昌岳;陈杰良;余泰成;林志泉 |
分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
主分类号 |
C01B31/02(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种碳纳米管制造方法,包括以下步骤:提供一基底;在所述基底表面形成一复合膜层,该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层;将所述复合膜层进行热处理,形成含有金属碳化物的催化剂层;在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |