发明名称 一种碳纳米管制造方法
摘要 本发明提供一种碳纳米管制造方法,其包括下列步骤:提供一基底;在所述基底表面形成一复合膜层,该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层;将所述复合膜层进行热处理,形成含有金属碳化物的催化剂层;在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。
申请公布号 CN100445202C 申请公布日期 2008.12.24
申请号 CN200510036918.2 申请日期 2005.08.26
申请人 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 发明人 吕昌岳;陈杰良;余泰成;林志泉
分类号 C01B31/02(2006.01) 主分类号 C01B31/02(2006.01)
代理机构 代理人
主权项 1.一种碳纳米管制造方法,包括以下步骤:提供一基底;在所述基底表面形成一复合膜层,该复合膜层包括多层催化剂金属膜层及多层碳膜层;将所述复合膜层进行热处理,形成含有金属碳化物的催化剂层;在所述催化剂层上进行化学气相沉积生长碳纳米管。
地址 518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号