发明名称
摘要
申请公布号 JP4148624(B2) 申请公布日期 2008.09.10
申请号 JP20000027791 申请日期 2000.02.04
申请人 发明人
分类号 C30B29/30;C23C14/28;H01L21/8242;H01L27/10;H01L27/108 主分类号 C30B29/30
代理机构 代理人
主权项
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