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发明名称 SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100945438(B1) 申请公布日期 2010.03.05
申请号 KR20080003160 申请日期 2008.01.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/31 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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