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发明名称
摘要
申请公布号 JP4340156(B2) 申请公布日期 2009.10.07
申请号 JP20030570403 申请日期 2003.02.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/8247;H01L21/8246;H01L27/10;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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