实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪

摘要

一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器，沿该半导体激光器的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组、分束器，在该分束器的透射光束的前进方向上设置被测物体，在分束器的反射光束的前进方向上放置有参考平板；被参考平板反射的光束前进方向上依次放置有第二透镜和探测元件，其特征在于：所述的探测元件的输出端与信号处理单元的第一输入端相连接，信号处理单元的输出端与计算机相连接，直流电源和信号源通过驱动器与半导体激光器相连接，该信号源的第二输出端与所述的信号处理单元的第二输入端相连接。本发明的优点是操作方便，测量范围大，精度高。

主权项

1、一种实时测量表面形貌的正弦相位调制干涉仪，包括一半导体激光器(1)，沿该半导体激光器(1)的出射光束前进方向同光轴地依次设置第一透镜组(2)、分束器(3)，在该分束器(3)的透射光束(t1)的前进方向上设置被测物体(5)，在分束器(3)的反射光束(f1)的前进方向上放置有参考平板(4)；所述反射光束(f1)被参考平板(4)反射后的前进方向上依次放置有第二透镜(6)和探测元件(7)，所述的探测元件(7)的输出端与信号处理单元(11)的第一输入端(8a)相连接，信号处理单元(11)的输出端与计算机(12)相连接，与半导体激光器(1)连接的驱动器(13)分别与直流电源(14)和信号源(15)连接，该信号源(15)的第二输出端与所述的信号处理单元(11)的第二输入端(8b)相连接，该信号源(15)向半导体激光器(1)和所述的信号处理单元(11)同时注入一个正弦电流信号，所述的驱动器(13)是一半导体激光调制器，用于控制半导体激光器的注入电流，其特征在于：所述的信号处理单元(11)包括实时相位探测电路(8)、实时鉴相电路(9)与同步电路(10)；所述的实时相位探测电路(8)的内部结构包括第一放大器(801)、第二放大器(802)、计算电路(803)、第一低通滤波器(804)、第二低通滤波器(805)；所述的实时鉴相电路(9)的内部结构包括第三放大器(901)，第四放大器(902)，除法电路(903)，解相电路(904)，相位补偿电路(905)，所述的相位补偿电路(905)由单片机构成。