多层压电驱动器的制造方法和多层压电驱动器

摘要

本发明公开了一种多层压电驱动器的制造方法和多层压电驱动器，属于压电器件领域。方法包括：将陶瓷粉体进行湿法研磨，加入粘合剂后流延成膜，冲片后烧制成多个陶瓷片，在每个陶瓷片的两面上印刷内部电极层和内部绝缘层，将多个陶瓷片交互层叠后烧制成一体化多层陶瓷，在两个相对侧面上印刷烧制外部电极，然后整体极化制成多层压电驱动器。多层压电驱动器包括至少两个交互层叠的内电极压电陶瓷体，相邻的两个内电极压电陶瓷体之间通过内部电极层接合，内部电极层的一端有内部绝缘层，另一端连接于外部电极，相邻的两个内部绝缘层分处内电极压电陶瓷体的两端。本发明中的多层压电驱动器能量转换效率有较大提高，且微观缺陷较少，可靠性得到了保障。

主权项

1、一种多层压电驱动器的制造方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：步骤1：将陶瓷粉体进行湿法研磨，加入粘合剂后流延成膜，冲片后烧制成多个陶瓷片；步骤2：在所述每个陶瓷片的两面上，印刷内部电极层和内部绝缘层；步骤3：将所述多个印刷有内部电极层和内部绝缘层的陶瓷片沿着厚度方向交互层叠后，烧制成一体化的多层陶瓷；步骤4：在所述一体化的多层陶瓷的两个相对侧面上印刷和烧制外部电极；步骤5：对所述烧制好外部电极的一体化的多层陶瓷进行极化，制成多层压电驱动器。