发明名称 |
柔性非晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种非晶硅薄膜柔性光伏电池,由如下膜层依次排列组成:不锈钢箔-铝-氧化锌铝膜-非晶硅或微晶硅n1层-非晶硅或微晶硅i1层-非晶硅或微晶硅p1层-非晶硅b1层-非晶硅n2层-非晶硅i2层-非晶硅p2层-氧化铟锡层-银浆栅线。同时提供了一种上述柔性光伏电池的制备方法,依次包括如下步骤:不锈钢箔抛光清洗;PVD真空镀铝膜;PVD真空镀氧化锌铝膜;PECVD真空镀非晶硅膜或非晶硅-微晶硅膜系;PVD真空镀氧化铟锡膜;PVD镀银浆栅线;经过后处理步骤,得到成品。本发明采用双结非晶硅-非晶硅或非晶硅-微晶硅电池结构,可大大提高良品率,耗能与耗材都非常少,可大幅度降低制造成本。 |
申请公布号 |
CN101707224A |
申请公布日期 |
2010.05.12 |
申请号 |
CN200910198262.2 |
申请日期 |
2009.11.03 |
申请人 |
彭祥军;杨英颖 |
发明人 |
彭祥军;杨英颖;刘远祥;程琳 |
分类号 |
H01L31/075(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/075(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种非晶硅薄膜柔性光伏电池,其特征在于,由如下膜层依次排列组成:不锈钢箔-铝-氧化锌铝膜-非晶硅或微晶硅n1层-非晶硅或微晶硅i1层-非晶硅或微晶硅p1层-非晶硅b1层-非晶硅n2层-非晶硅i2层-非晶硅p2层-氧化铟锡层-银浆栅线。 |
地址 |
200333 上海市中江路879号9号楼A座1F |