发明名称 柔性非晶硅薄膜太阳能电池及其制备方法
摘要 本发明提供了一种非晶硅薄膜柔性光伏电池,由如下膜层依次排列组成:不锈钢箔-铝-氧化锌铝膜-非晶硅或微晶硅n1层-非晶硅或微晶硅i1层-非晶硅或微晶硅p1层-非晶硅b1层-非晶硅n2层-非晶硅i2层-非晶硅p2层-氧化铟锡层-银浆栅线。同时提供了一种上述柔性光伏电池的制备方法,依次包括如下步骤:不锈钢箔抛光清洗;PVD真空镀铝膜;PVD真空镀氧化锌铝膜;PECVD真空镀非晶硅膜或非晶硅-微晶硅膜系;PVD真空镀氧化铟锡膜;PVD镀银浆栅线;经过后处理步骤,得到成品。本发明采用双结非晶硅-非晶硅或非晶硅-微晶硅电池结构,可大大提高良品率,耗能与耗材都非常少,可大幅度降低制造成本。
申请公布号 CN101707224A 申请公布日期 2010.05.12
申请号 CN200910198262.2 申请日期 2009.11.03
申请人 彭祥军;杨英颖 发明人 彭祥军;杨英颖;刘远祥;程琳
分类号 H01L31/075(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 主分类号 H01L31/075(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种非晶硅薄膜柔性光伏电池,其特征在于,由如下膜层依次排列组成:不锈钢箔-铝-氧化锌铝膜-非晶硅或微晶硅n1层-非晶硅或微晶硅i1层-非晶硅或微晶硅p1层-非晶硅b1层-非晶硅n2层-非晶硅i2层-非晶硅p2层-氧化铟锡层-银浆栅线。
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