| 发明名称 | 图案修正装置及涂敷组件 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能以简单的结构迅速地修正缺陷部的图案修正装置。在该图案修正装置中，在待机状态下，使涂敷针前端部(19a)浸渍在修正液(17)中。在进行涂敷时，缸体部(20)使驱动轴(20a)下降，涂敷针(19)从容器(18)的孔(18b)伸出。在涂敷针前端部(19a)上附着有修正液(17a)。接着，涂敷缸体(13)使驱动轴(13a)下降，使涂敷针前端部(19a)与基板(20)的缺陷部(22)接触，将修正液(17a)涂敷在缺陷部(22)上。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐之间往复运动的工序。 | ||
| 申请公布号 | CN1840356B | 申请公布日期 | 2010.05.12 |
| 申请号 | CN200610074106.1 | 申请日期 | 2006.03.28 |
| 申请人 | NTN株式会社 | 发明人 | 小池孝志;松岛昌良 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I;G02B5/20(2006.01)I;H01J9/02(2006.01)I;B05C1/02(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 方晓虹 |
| 主权项 | 一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，所述驱动部包括：第一副驱动部，固定在所述容器上，使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出，使修正液附着在所述涂敷针的前端部上；以及第二副驱动部，使所述容器下降，使所述涂敷针的前端部与所述缺陷部接触，将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上，其特征在于，还包括线性导向器，该线性导向器设置在所述容器和所述第二副驱动部之间，对所述容器可移动地予以保持，使得不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力。 | ||
| 地址 | 日本大阪府 | ||