发明名称 |
研磨垫 |
摘要 |
本发明提供一种在研磨对象物的表面难以发生划伤,且平坦化特性优越的研磨垫。本发明的研磨垫具有由具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成的研磨层,所述聚氨酯树脂发泡体的拉伸断裂伸长是25~120%。 |
申请公布号 |
CN101537601A |
申请公布日期 |
2009.09.23 |
申请号 |
CN200910135487.3 |
申请日期 |
2006.05.10 |
申请人 |
东洋橡胶工业株式会社 |
发明人 |
数野淳;小川一幸;中森雅彦;山田孝敏;下村哲生 |
分类号 |
B24D3/00(2006.01)I;B24D13/14(2006.01)I;B24B37/04(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I;B24D18/00(2006.01)I;C08G18/65(2006.01)I;C08G18/10(2006.01)I;C08G101/00(2006.01)N |
主分类号 |
B24D3/00(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
李贵亮 |
主权项 |
1.一种研磨垫,其包含由具有微细气泡的聚氨酯树脂发泡体构成,且在研磨表面具有凹凸结构的研磨层,其特征在于,所述聚氨酯树脂发泡体的阿斯卡D硬度是45~55度,比重是0.8~0.86,拉伸断裂伸长是120~150%。 |
地址 |
日本国大阪府 |