聚光光学系统、激光加工方法和装置以及脆性材料的制造方法

摘要

本发明公开了一种聚光光学系统，该聚光光学系统具有小尺寸的会聚光斑和大的焦深而不会引起会聚光斑的强度下降和在焦点位置的前后区域强度分布不连续的问题。该聚光光学系统以预定的焦距会聚由激光源生成的激光束并且设计成满足表达式(a)～(d)，由此产生第三阶和第五阶球面像差：(a)|Z₈|≥0.1λ或|Z₁₅|≥0.05λ，(b)Z₈/Z₁₅≥3或Z₈/Z₁₅＜1，(c)|Z₈|＜1.4λ，并且(d)|Z₁₅|＜0.5λ，其中，λ是波长，Z₈是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第三阶球面像差对应的第八项系数，Z₁₅是波前像差的泽尼克条纹多项式系数中与第五阶球面像差对应的第十五项系数。

主权项

1.一种以预定的焦距会聚由激光源生成的激光束的聚光光学系统，其中，所述聚光光学系统产生球面像差。