热敏表面剪切应力传感器

摘要

本发明公开了一种热敏表面剪切应力传感器，包括加热/热敏线圈、支撑薄膜、隔热沟、支撑梁、热敏电极、电绝缘薄膜、硅衬底和引线电极，通过淀积在所述的硅衬底表面形成支撑薄膜和电绝缘薄膜，该支撑薄膜下面的衬底被刻蚀掉，并对加热/热敏线圈起支撑作用；该支撑薄膜和电绝缘薄膜通过支撑梁连接，并在电绝缘薄膜上制备出相互独立的热敏电极，该热敏电极均匀分布在所述加热/热敏线圈的外边缘，在该加热/热敏线圈与热敏电极之间为隔热沟，同时该加热/热敏线圈与热敏电极分别通过引线电极与外部电路相连。本发明能够确定平面内流体的方向，同时对流体在固体表面所产生的表面剪切应力的大小进行测量。

主权项

1、一种热敏表面剪切应力传感器，其特征在于包括加热/热敏线圈(1)、支撑薄膜(2)、隔热沟(3a，3b，3c，3d)、支撑梁(4a，4b，4c，4d)、热敏电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)、电绝缘薄膜(6)、硅衬底(7)和引线电极(8)，通过淀积在所述的硅衬底(7)表面形成支撑薄膜(2)和电绝缘薄膜(6)，该支撑薄膜(2)下面的衬底被刻蚀掉，并对加热/热敏线圈(1)起支撑作用；该支撑薄膜(2)和电绝缘薄膜(6)通过支撑梁(4a，4b，4c，4d)连接，并在电绝缘薄膜(6)上制备出相互独立的热敏电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)，该热敏电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)均匀分布在所述加热/热敏线圈(1)的外边缘，在该加热/热敏线圈(1)与热敏电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)之间为隔热沟(3a，3b，3c，3d)，同时该加热/热敏线圈(1)与热敏电极(5a，5b，5c，5d，5e，5f，5g，5h)分别通过引线电极(8)与外部电路相连。