| 发明名称 | 用于金属硅氮化物、氧化物或氮氧化物的ALD/CVD的Ti、Ta、Hf、Zr及相关金属硅氨化物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及用于金属硅氮化物、氧化物或氮氧化物的ALD/CVD的Ti、Ta、Hf、Zr及相关金属硅氨化物，具体而言，所述金属硅氨化物为一种由下列结构表示的有机金属络合物：<img file="200610144437.8_ab_0.GIF" wi="207" he="154" />其中M是选自元素周期表4族的金属，R<sup>1-4</sup>可以相同或不同，选自二烷基酰胺、二氟代烷基酰胺、氢、烷基、烷氧基、氟代烷基和烷氧基、环脂族基和芳基，额外条件是当R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>是二烷基酰胺、二氟代烷基酰胺、烷氧基、氟代烷基和烷氧基时，它们可以连接成环。也公开了相关的化合物。还包括使用该络合物的CVD和ALD工艺。 | ||
| 申请公布号 | CN1990492B | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN200610144437.8 | 申请日期 | 2006.09.30 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | J·A·T·诺曼;雷新建 |
| 分类号 | C07F7/28(2006.01)I;C07F7/00(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 吕彩霞;范赤 |
| 主权项 | 1.一种由下列结构表示的有机金属络合物：<img file="FSB00000402837400011.GIF" wi="731" he="576" />其中M是选自元素周期表4族的金属，R<sup>1</sup>和R<sup>2</sup>是氢，R<sup>3-4</sup>是烷基。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||