发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN VON HALBLEITERBAUELEMENTEN
摘要
申请公布号 DE1589703(B2) 申请公布日期 1972.08.31
申请号 DE19671589703 申请日期 1967.11.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/00;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/228;H01L27/00;H01L29/00;H01L29/207;H01L29/86;(IPC1-7):01L3/20 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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