发明名称 ORGANIC MATERIAL EVAPORATION SOURCE AND ORGANIC VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 KR101188163(B1) 申请公布日期 2012.10.05
申请号 KR20067008948 申请日期 2005.05.13
申请人 发明人
分类号 C23C14/24;H05B33/10;C23C14/12;C23C14/26;H01L51/50;H05B33/00;H05B33/14 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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