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发明名称
ORGANIC MATERIAL EVAPORATION SOURCE AND ORGANIC VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
KR101188163(B1)
申请公布日期
2012.10.05
申请号
KR20067008948
申请日期
2005.05.13
申请人
发明人
分类号
C23C14/24;H05B33/10;C23C14/12;C23C14/26;H01L51/50;H05B33/00;H05B33/14
主分类号
C23C14/24
代理机构
代理人
主权项
地址
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