发明名称 Sposób okreslania koncentracji zanieczyszczen w multikrystalicznym krzemie
摘要
申请公布号 PL395017(A1) 申请公布日期 2012.12.03
申请号 PL20110395017 申请日期 2011.05.27
申请人 INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ 发明人 PIOTROWSKI TADEUSZ
分类号 G01R31/26;G01N21/00;H01L21/00 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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