发明名称 |
Sposób okreslania koncentracji zanieczyszczen w multikrystalicznym krzemie |
摘要 |
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申请公布号 |
PL395017(A1) |
申请公布日期 |
2012.12.03 |
申请号 |
PL20110395017 |
申请日期 |
2011.05.27 |
申请人 |
INSTYTUT TECHNOLOGII ELEKTRONOWEJ |
发明人 |
PIOTROWSKI TADEUSZ |
分类号 |
G01R31/26;G01N21/00;H01L21/00 |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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