双远心连续变焦成像装置

摘要

本创作提供一种双远心连续变焦成像装置，包括准直物镜组将该干涉图形之平行光转换为收敛光，并经光学路径调整功能手段导引至一成像通道上，利用远心成像模组将成像通道上的干涉图形转换为平行光轴的一远心成像。再由远心连续变焦模组调整远心成像的放大倍率，并输出一物影像，最后将物影像成像于电耦合元件上；藉此改善知量测系统的影像放大率会因待测物距离的远近而改变，进而容易产生光学畸变及解像力变差等问题。

主权项

一种双远心连续变焦成像装置，包括：一准直物镜组，系将一干涉图形之平行光转换为收敛光，并将其引导至一成像通道上；一远心成像模组，系将该成像通道上的该干涉图形转换为一远心成像，一远心连续变焦模组，系调整该远心成像的放大倍率，并输出一物影像；及一电耦合元件，系将该物影像成像于其上，并转换成电子讯号。如请求项1所述之双远心连续变焦成像装置，其中该准直物镜组包括二平面、一准直装置及一偏振分光棱镜组，该二平面系将反射光互相干涉以产生一待测物之该干涉图形，由该准直装置将该干涉图形之平行光转换为收敛光，再由该偏振分光棱镜组引导该干涉图形至该成像通道上。如请求项2所述之双远心连续变焦成像装置，其中该二平面产生之该干涉图形系由一测试平面的反射光与一参考平面的反射光互相干涉所形成者。如请求项2所述之双远心连续变焦成像装置，其中该二平面之反射光系由一干涉仪之投光装置所提供。如请求项4所述之双远心连续变焦成像装置，更包括一衰减片位于该投光装置之光学路径上。如请求项4所述之双远心连续变焦成像装置，其中该投光装置与该偏振分光棱镜组之间的光学路径上更包括复数个反射镜及一反射块。如请求项1所述之双远心连续变焦成像装置，其中该远心成像模组与该远心连续变焦模组之间的光学路径上更包括至少一反射镜，其系将平行光轴之该远心成像反射至该远心连续变焦模组。如请求项1所述之双远心连续变焦成像装置，其中该远心成像模组系调整该干涉图形为衡定放大率之该远心成像。如请求项1所述之双远心连续变焦成像装置，其中该远心连续变焦模组可调整至少二调焦镜片之间的距离而放大该物影像，其放大倍率系连续变倍介于1倍(1X)至6倍(6X)之间。如请求项1所述之双远心连续变焦成像装置，其中该远心成像模组系为继光镜组。