基板吸附装置

摘要

一种基板吸附装置，用于吸附一基板，该基板吸附包括一本体、至少一承载臂以及至少一可替换单元。该承载臂系固定于该本体上。该可替换单元系固定于该承载臂上且包括至少一吸取单元。本创作之基板吸附装置能根据基板的放置方式而藉由更换可替换单元达到快速更换不同吸取单元之目的，进而节省时间与降低成本。