制造固态成像器件之方法及固态成像器件

摘要

本发明揭示一种制造一固态成像器件的方法，其包含以下步骤：于一半导体基板之一光接收区域中形成一光接收部分；于该半导体基板之一垫区域中形成一垫部分；于该光接收部分及该垫部分上方形成一微透镜材料层；为该微透镜材料层提供对应于该光接收部分的一微透镜；于该微透镜材料层上形成一低反射材料层；蚀刻该垫部分上方之该微透镜材料层及该低反射材料层以形成一开口；及藉由一常温氧自由基处理而对该低反射材料层之一表面及该开口之一内侧部分赋予亲水性。