低介电常数之介电膜的修复方法

摘要

一种设备、系统、及方法，用以修复低介电常数介电膜层中之碳耗尽的低介电常数材料，包含：辨认具有碳化氢族群之修复化学品，修复化学品系用以修复碳耗尽的低介电常数材料；及施加所辨认的修复化学品弯月面于低介电常数介电膜层，以使低介电常数介电膜层中之碳耗尽的低介电常数材料充分暴露于能够实质修复低介电常数材料之修复化学品弯月面中。此修复的低介电常数材料呈现与低介电常数膜层实质相同之低介电常数特性。