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发明名称
晶片挑拣装置
摘要
一种晶片挑拣装置,用于在至少两个晶片取放面提取或置放一晶片,晶片挑拣装置包含一旋转轴、一延伸杆、及一提放件,旋转轴之轴向之延伸线相交于两个晶片取放面之延伸面,且两个晶片取放面之延伸面的夹角小于180°,延伸杆自旋转轴之径向方向延伸出,而经旋转轴旋转形成一回旋面,回旋面朝向两个晶片取放面之夹角皆为小于90°,提放件设置于延伸杆,而经旋转轴旋转依序经过两个晶片取放面,以在两个晶片取放面提取或置放晶片,而达到回旋空间小、搬运动作快的效果,以减少半导体制程中挑拣晶片的时间。
申请公布号
TWM472943
申请公布日期
2014.02.21
申请号
TW102209847
申请日期
2013.05.27
申请人
威控自动化机械股份有限公司 新竹市埔顶路99巷127号
发明人
陈光诚
分类号
H01L21/67
主分类号
H01L21/67
代理机构
代理人
林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1
主权项
地址
新竹市埔顶路99巷127号
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