等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套

摘要

等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，衬套主体为四段阶梯轴结构，阶梯轴的轴心设置有通孔，第一段轴左端面设置有数个绕圆周均布的水道接头安装槽，每个水道接头安装槽旁均设置有与衬套主体内壁相通的冷却水道，每个水道接头安装槽均连接有水道接头，第一段轴右端面设置有密封圈安装槽A；衬套主体的大端向右依次设置有的第二段轴、第三段轴、第四段轴，第三段轴的中部外圈设置有沟槽，沟槽中部设置有铝圈，铝圈的中部设置有凸台，凸台两侧与沟槽之间均设置有数个绕圆周均布的钕铁硼永久磁铁。本实用新型结构合理，能有效地约束等离子体，减少了等离子体对反应腔室的腐蚀，延长了设备的使用寿命，降低了设备的维护成本。

主权项

等离子体反应腔室用带磁铁环的直冷阴极衬套，包括衬套主体（1），其特征在于：所述的衬套主体（1）为四段阶梯轴结构，阶梯轴的轴心设置有通孔，衬套主体（1）的左端第一段轴为大端，第一段轴左端面设置有数个绕圆周均布的水道接头安装槽（104），每个水道接头安装槽（104）旁均设置有与衬套主体（1）内壁相通的冷却水道（101），每个水道接头安装槽（104）均连接有水道接头（4），第一段轴右端面设置有密封圈安装槽A（103），密封圈安装槽A（103）内安装有密封圈；衬套主体（1）的大端向右依次设置有的第二段轴、第三段轴、第四段轴，其中第四段轴为小端，第二段轴与第四段轴外径相同，第三段轴的外径大于第二段轴的外径且小于第一段轴的外径，第三段轴的中部外圈设置有沟槽（102），沟槽（102）中部设置有铝圈（201），铝圈（201）的中部设置有凸台，凸台两侧与沟槽（102）之间均设置有数个绕圆周均布的钕铁硼永久磁铁（2），凸台及两侧钕铁硼永久磁铁（2）的外圈设置有盖板（3），盖板（3）由盖板A（301）和盖板B（302）拼合而成。