缺陷观察方法及缺陷观察装置

主权项

一种缺陷观察方法，其包含：拍摄步骤，其基于来自检查装置之缺陷资讯拍摄被检查对象物，而获得缺陷图像与对应于该缺陷图像之参照图像；参数决定步骤，其使用根据上述拍摄步骤中拍摄之该缺陷图像与该参照图像获得之第一特征量分布与根据该参照图像获得之第二特征量分布，决定缺陷撷取所使用之第一参数；及观察步骤，其使用上述参数决定步骤中决定之该第一参数进行观察。