藉由雷射能量辐射一半导体材料表面的方法与设备

主权项

一种辐射半导体材料之方法，其包括：选择一半导体材料层表面之一区域，该区域具有一区域尺寸；利用具有一光束点尺寸之一准分子雷射来辐射该半导体材料层表面之该区域；及藉由该光束点尺寸可变地匹配于选定的该区域尺寸而调整该光束点尺寸；该方法之特征为藉由改变其影像形成于该半导体材料层表面上之一可变孔隙的尺寸及形状而匹配该光束点尺寸。