光学积分器、照明光学系统、曝光装置以及元件制造方法

主权项

一种光学积分器，其用于根据来自光源的光而对被照射面进行照明的照明光学系统中，其特征在于包括：第1复眼光学系统，在上述光源与上述被照射面之间的光程中，具有在与上述被照射面成光学共轭的位置处并列配置的多个第1反射面；及第2复眼光学系统，在上述第1复眼光学系统与上述被照射面之间的光程中，具有并列配置的多个第2反射面；且上述多个第1反射面中的至少一个第1反射面、与不同于该至少一个第1反射面的其他第1反射面、规定方向的尺寸彼此不同。