射频(RF)天线、其形成方法及离子源

主权项

一种射频(RF)天线，包括：一低阻值的金属管，具有一内径及一外径；一低摩擦的高分子管，具有一内径及一外径，该高分子管包围低阻值的该金属管，该高分子管的该内径大于低阻值的该金属管的该外径；以及一预成形石英玻璃管，容纳低摩擦的该高分子管及低阻值的该金属管，其中该低摩擦的高分子管与该低阻值的金属管插入于该预成形石英玻璃管内且其中该低摩擦的高分子管与该低阻值的金属管沿着该预成形石英玻璃管的内部迹线延伸。