VERFAHREN UND SYSTEM ZUM GENERIEREN EINES SCHALTUNGSENTWURFS, VERFAHREN ZUM KALIBRIEREN EINER INSPEKTIONSVORRICHTUNG, UND VERFAHREN ZUR PROZESSSTEUERUNG UND ZUM ERTRAGSMANAGEMENT

摘要

Ein Verfahren zum Generieren eines Schaltungsentwurfs einer integrierten Schaltung wird bereitgestellt, wobei der Schaltungsentwurf einen Funktionsbereich (FA) und einen Nichtfunktionsbereich umfasst. Das Verfahren umfasst die Schritte, eine Beschreibung einer Testzelle (TC) einem EDA-Tool bereitzustellen und die Testzelle (TC) in den Schaltungsentwurf einzufügen. Darin umfasst die Beschreibung der Testzelle (TC) eine Beschreibung einer Teststruktur (HS), und die Teststruktur (HS) ist dazu ausgelegt ist, sensibel auf Schwankungen eines Herstellungsprozesses zu reagieren. Darüber hinaus wird die Testzelle (TC) in einen Nichtfunktionsbereich eingefügt, und das Einfügen erfolgt automatisch durch das EDA-Tool. Die Teststruktur (HS) wird im Gegensatz zu regulären Strukturen in der Schaltungsbeschreibung absichtlich dazu ausgelegt, sensibel auf Schwankungen des Herstellungsprozesses zu reagieren.