一种具有双离子源的离子注入机

摘要

一种具有双离子源的离子注入机，包括：起弧腔室；第一灯丝，设置在第一侧壁，两端连接电极；第一反射极，设置在第二侧壁，并与第三电压供应单元之负极相连，第三电压供应单元之正极与侧壁相连；第二灯丝，设置在第三侧壁，两端连接电极；第二反射极，设置在第四侧壁，并与第四电压供应单元之负极相连，第四电压供应单元之正极与侧壁相连；狭缝；源气体通入口；清洁气体通入口。本发明通过设置可与热电子供电源进行切换电连接的第一灯丝和第二灯丝，以及与电场供电源进行切换电连接的第一反射极和第二发射极，不仅减少了离子源清理、更换的周期，降低维护频度，而且延长了具有双离子源的离子注入机的使用寿命和生产在线时间，提高机台之产能。

主权项

一种具有双离子源的离子注入机，其特征在于，所述具有双离子源的离子注入机，包括：起弧腔室，用于容置等离子体；第一灯丝，设置在所述起弧腔室之第一侧壁，并在所述第一灯丝之两端连接电极；第一反射极，设置在所述起弧腔室之与所述第一侧壁呈面向设置的第二侧壁上，所述第一反射极与第三电压供应单元之负极相连，所述第三电压供应单元之正极与所述起弧腔室之侧壁相连；第二灯丝，设置在所述起弧腔室之异于所述第一侧壁和所述第二侧壁的第三侧壁上，并在所述第二灯丝之两端连接电极；第二反射极，设置在所述起弧腔室之与所述第三侧壁呈面向设置的第四侧壁上，所述第二反射极与第四电压供应单元之负极相连，所述第四电压供应单元之正极与所述起弧腔室之侧壁相连；狭缝，为所述等离子体的出口；源气体通入口，用于通入离子源气体；清洁气体通入口，用于通入惰性清洁气体。