一种金属掩膜冷却装置及金属掩膜蒸镀装置

摘要

本发明涉及有源矩阵显示领域，尤其涉及一种金属掩膜冷却装置及金属掩膜蒸镀装置，该金属掩膜冷却装置包括制冷器、功率控制单元、供电单元及磁板；制冷器贴合在基板的一侧面，在其上磁板的作用下，制冷器与金属掩膜吸附在基板的两侧面，通过功率控制单元控制制冷器工作，制冷器进而对金属掩膜进行冷却，其中制冷器及功率控制单元由供电单元供电；由于利用热电原理通过制冷器贴合在基板上对金属掩膜进行冷却，掩膜各处降温均匀，不会出现结构位置的变形，通过功率控制单元控制制冷器工作，温度控制及时，温度惯性小，温控效率高，且采用制冷器，安装维修方便，使用寿命长。

主权项

一种金属掩膜冷却装置，其特征在于：其包括制冷器、功率控制单元、供电单元及磁板；制冷器贴合在基板的一侧面，且通过基板对贴合在基板另一侧面的金属掩膜进行冷却；磁板设置在制冷器上，以将制冷器与金属掩膜吸附在基板的两侧面；功率控制单元与制冷器连接，以控制制冷器的制冷温度；供电单元与制冷器及功率控制单元连接，以给制冷器及功率控制单元提供电源。