一种大面积多孔微纳复合结构的可控制备方法

摘要

本发明提供了一种大面积多孔微纳复合结构的可控制备方法，该方法通过光刻法得到微米结构，通过阳极氧化法生长纳米结构，形成微纳复合结构。本方法采用光刻、腐蚀和阳极氧化的方式，使得微米结构的制备和纳米结构的制备均达到可控；获得的微纳复合结构具有高亲水性，在使用此种结构作为微通道的底面时可有效降低通道对于溶液的阻力。本方法制备的微纳结构，整个结构面积可以按照需要做到分米级、甚至更大，实现大面积制备。该制备方法成本较为低廉，可以获得形貌可控的微纳复合结构，同时该制备方法同微电子工艺相兼容，结合阳极氧化技术，完成了一种对于微纳复合结构制备的新方法。

主权项

一种大面积多孔微纳复合结构的可控制备方法，其特征在于：该方法通过光刻法得到微米结构，通过阳极氧化法生长纳米结构，形成多孔微纳复合结构。