一种与制程设备配合的进气装置

摘要

本实用新型涉及太阳能制造设备领域，公开了一种与制程设备配合的进气装置，包括外壳体、进气口和出气口，所述外壳体设于制程设备的制程区域上方，所述出气口同时与外壳体和制程区域连通，所述出气口靠近所述制程区域的观察区，所述进气口与外壳体连通，并且偏离出气口的正上方区域。本实用新型的进气装置与太阳能湿制程设备配合，能够有效向远离观察区方向排出湿制程区域内的酸气废气，为制程区域提供高效照明，提高观测人的安全性和舒适度，结构简单、外观良好。

主权项

一种与制程设备配合的进气装置，其特征在于，包括外壳体(1)、进气口(2)和出气口(3)，所述外壳体(1)设于制程设备(4)的制程区域(41)上方，所述出气口(3)同时与外壳体(1)和制程区域(41)连通，所述出气口(3)靠近所述制程区域(41)的观察区(42)，所述进气口(2)与外壳体(1)连通，并且偏离出气口(3)的正上方区域。