具有高效纳米绒面结构的多晶硅的制备方法及其应用

摘要

本发明公开了一种具有高效纳米绒面结构的多晶硅的制备方法及其应用。制备方法包括以下步骤：（1）反应离子刻蚀制绒：将去损伤后的多晶硅片置于反应离子刻蚀机中，刻蚀形成具有纳米多孔结构的多晶黑硅；（2）硅片表面腐蚀：将步骤（1）所得的具有纳米多孔结构的多晶黑硅浸入四甲基氢氧化铵和制绒添加剂的混合溶液中进行表面腐蚀，得到具有高效纳米绒面结构的多晶硅。本发明消除了纳米复合中心，增加了多晶硅表面绒面的比表面积，降低了多晶硅制绒之后的反射率，提高了多晶硅太阳能电池的光电性能。且方法工艺简单，重现性好，可控程度高，符合环境要求，适合工业生产。

主权项

一种具有高效纳米绒面结构的多晶硅的制备方法，包括以下步骤：（1）反应离子刻蚀制绒：将去损伤后的多晶硅片置于反应离子刻蚀机中，刻蚀形成具有纳米多孔结构的多晶黑硅；（2）硅片表面腐蚀：将步骤（1）所得的具有纳米多孔结构的多晶黑硅浸入四甲基氢氧化铵和制绒添加剂的混合溶液中进行表面腐蚀，得到具有高效纳米绒面结构的多晶硅。