| 发明名称 |
PRECURSOR FOR FORMATION OF EUROPIUM-CONTAINING THIN FILM AND METHOD FOR FORMING EUROPIUM-CONTAINING THIN FILM |
| 摘要 |
<p>본 발명은, 융점이 180℃ 이하이고, 화학적 기상법이나 원자층 퇴적법에 있어서 버블링에 의해 안정적으로 공급할 수 있는 신규 유로퓸 화합물과 이것에 의한 유로퓸 함유 박막 형성용 전구체 및 이 전구체를 이용한 유로퓸 함유 박막 형성 방법을 제공한다. 비스(테트라메틸모노알킬시클로펜타디에닐)유로퓸을 화학적 기상법 또는 원자층 퇴적법에 의한 유로퓸 함유 박막 형성용 전구체로서 이용하여 유로퓸 함유 박막을 형성한다.</p> |
| 申请公布号 |
KR101574869(B1) |
申请公布日期 |
2015.12.04 |
| 申请号 |
KR20137027478 |
申请日期 |
2012.02.23 |
| 申请人 |
가부시키가이샤 코준도카가쿠 켄큐쇼 |
发明人 |
모기 다카유키;구보시마 요시노리;히가시 신타로;기쿠카와 가오루 |
| 分类号 |
C07F5/00;C23C16/40;H01L21/02 |
主分类号 |
C07F5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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