| 摘要 |
잉곳 성장 장치가 제시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 잉곳 성장 장치는 원료물질을 수용하는 도가니와 상기 도가니를 가열시켜 상기 원료물질을 용융시키는 히터를 포함하는 메인 챔버, 상기 도가니의 상부에 설치되는 돔 챔버, 상기 돔 챔버의 상부에 설치되는 풀 챔버, 상기 도가니로부터 성장된 잉곳을 상기 돔 챔버 및 상기 풀 챔버 내부에서 이동시키는 시드 케이블 및 상기 시드 케이블을 작동시키도록 상기 풀 챔버 상부에 설치되는 무게 측정부를 포함하되, 상기 무게 측정부는, 상기 풀 챔버 상부에 설치되며 내부가 진공 상태로 유지되는 하우징, 상기 하우징 내부에 설치되어 상기 시드 케이블을 지지하는 지지 롤러 및 상기 하우징 외부에 설치되어 상기 지지 롤러에 의하여 지지되는 잉곳의 무게를 측정하는 로드셀을 포함한다. |
