| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASURING APPARATUS FOR VACUUM EVAPORATION APPARATUS AND EVAPORATION MEHTOD BY THE SAME |
| 摘要 |
본 발명은 진공 증착 장치의 온도 측정 장치 및 이를 이용한 증착 방법으로서 특히 상기 증발 용기에 온도 측정 장치를 직접 접촉하는 방식으로 측정하여 상기 증발 용기에 담겨져 있는 피 가열체의 온도를 정확히 측정할 수 있고 이에 의해 요구되는 증착량 만큼 정확하게 증착할 수 있는 것이다. |
| 申请公布号 |
KR101574185(B1) |
申请公布日期 |
2015.12.03 |
| 申请号 |
KR20140061698 |
申请日期 |
2014.05.22 |
| 申请人 |
윤지훈 |
发明人 |
윤지훈 |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/54;H01L21/20;H01L21/324;H01L21/66 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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