高精度光电尘埃颗粒检测装置及检测方法

摘要

本发明公开了一种高精度光电尘埃颗粒检测装置及其方法，照明光路包括光源、第一掩膜及第一透镜，射光收集系统包括第二透镜、第二掩膜及感光元件，第一掩膜和第二掩膜上开设有呈“吕”字形设置的透光通道；测量腔包括上下对称叠合设置的第一光敏感区域及第二光敏感区域，第一光敏感区域的边长小于第二光敏感区域，第一光敏感区域与第二光敏感区域的厚度均大于最大可测量粒径，且第一光敏感区域与第二光敏感区域之间设有间隙d。本实用可有效地消除边界效应带来的误差，以相对简单可靠的系统达到较高的测量精度、低成本、可精确检测小尺寸的空气颗粒。

主权项

一种高精度光电尘埃颗粒检测装置，包括照明光路、测量腔(4)、与照明光路的中心轴线垂直设置的气路系统、用于将散射光进行反射的反射镜(5)、散射光收集系统及处理器，其特征在于：所述的照明光路包括光源(1)、第一掩膜(2)及用于聚焦的第一透镜(3)，所述的射光收集系统包括第二透镜(6)、第二掩膜(7)及用于产生电脉冲的感光元件(8)，所述的第一掩膜(2)和第二掩膜(7)上开设有呈“吕”字形设置的透光通道；所述的测量腔(4)包括上下对称叠合设置的第一光敏感区域(4.1)及第二光敏感区域(4.2)，所述的第一光敏感区域(4.1)的边长小于所述的第二光敏感区域(4.2)，所述的第一光敏感区域(4.1)与第二光敏感区域(4.2)的厚度均大于最大可测量粒径，且所述的第一光敏感区域(4.1)与第二光敏感区域(4.2)之间设有间隙d。