发明名称 一种硅片插片盒
摘要 本实用新型公开了一种硅片插片盒,包括盒体,所述盒体两侧内壁分别设有多道镂空边部插槽,所述盒体底部设有多道分别与边部插槽连通的镂空底部插槽,所述底部插槽的槽边设有向上突起的分片齿,所述盒体中还设有高度介于分片齿的齿尖和齿谷之间的缓冲垫。本实用新型通过增加高度介于分片齿的齿尖和齿谷之间的缓冲垫,吸收硅片的冲击力,避免点撞击导致硅片边部形成片盒印,及造成崩边、缺角的情况,提高硅片品质,并且有效降低硅片报废率,降低硅片的加工成本。
申请公布号 CN204834582U 申请公布日期 2015.12.02
申请号 CN201520658571.4 申请日期 2015.08.28
申请人 严循成;吴偲;田疆燕 发明人 严循成;吴偲;田疆燕
分类号 H01L21/673(2006.01)I 主分类号 H01L21/673(2006.01)I
代理机构 淮安市科文知识产权事务所 32223 代理人 谢观素
主权项  一种硅片插片盒,包括盒体(1),所述盒体(1)两侧内壁分别设有多道镂空边部插槽(2),所述盒体(1)底部设有多道分别与边部插槽(2)连通的镂空底部插槽(3),所述底部插槽(3)的槽边设有向上突起的分片齿(4),其特征在于:所述盒体(1)中还设有高度介于分片齿(4)的齿尖和齿谷之间的缓冲垫(7)。
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