采用LCOS的激光微加工系统及其加工方法

摘要

本发明涉及一种采用LCOS的激光微加工系统，所述系统包含有用于产生激光的激光发生器（1），所述激光发生器（1）发出的激光的光路上依次设置有扩束镜（2）、LCOS（3）、缩束镜（5）和聚焦镜（6），所述LCOS（3）与一计算机处理器（4）相连。本发明采用LCOS的激光微加工系统，通过采用计算机程序实现激光波束的方向和强度的改变和控制、避免了使用机械运动部件，使用灵活性强且加工精度稳定，对激光微加工设备的光束控制和处理技术是一种革命性的改变。

主权项

一种采用LCOS的激光微加工系统，其特征在于：所述系统包含有用于产生激光的激光发生器（1），所述激光发生器（1）发出的激光的光路上依次设置有扩束镜（2）、LCOS（3）、缩束镜（5）和聚焦镜（6），所述LCOS（3）与一计算机处理器（4）相连；射入LCOS（3）的激光经LCOS（3）反射后射向缩束镜（5），或者射入LCOS（3）的激光穿透LCOS（3）后射向缩束镜（5）。