一种石墨舟的饱和方法

摘要

本发明涉及一种石墨舟的饱和方法，属于太阳电池技术领域，包括假片饱和阶段和空舟饱和阶段，通过结合两种方式进行饱和，保证了电池片的Rsh，又降低了片内、片间极差，有效地提高饱和后石墨舟的使用效果，降低石墨舟内硅片间膜厚的极差，改善石墨舟的稳定性，从而降低硅片表面色差。

主权项

一种石墨舟的饱和方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：假片饱和阶段：S1‑1：石墨假片的预处理：将石墨假片插入片盒，然后将片盒放入HF酸槽清洗2h，HF的浓度为15%~25%，之后取出放入水槽清洗2h，取出后放入烘干箱，以120~150℃的温度烘干2h；S1‑2：石墨舟的预处理：将石墨舟放入HF酸洗槽清洗6~8h，HF的浓度为20%~25%，之后取出放入水槽清洗6~8h，取出后放入烘干箱，以120~150℃的温度烘干6~8h ；S1‑3：假片饱和：将石墨假片插入石墨舟，确保石墨片不会掉落，之后放入PECVD机台进行假片饱和处理；进入炉管，加热至设定温度；之后，射频预轰击，使各温区温度更稳定；随后，沉积氮化硅薄膜；沉积完后，降温，出舟，取出石墨假片；S2：空舟饱和阶段：将经过步骤S1处理后的石墨舟放入PECVD机台进行空舟饱和处理，进入炉管，加热至设定温度，之后，射频预轰击，使各温区温度更稳定；随后，沉积氮化硅薄膜；沉积完后，降温，出舟。