声波器件

摘要

本发明提供了声波器件。声波器件包括：基板；下电极，其位于基板上；压电膜，其位于下电极上，并且由c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6的氮化铝制成；以及上电极，其位于压电膜上，并隔着压电膜面对下电极。

主权项

一种声波器件，该声波器件包括：基板；下电极，其位于所述基板上；压电膜，其位于所述下电极上，并且由具有c轴指向所述压电膜的厚度方向的配向性的氮化铝制成，所述压电膜的c轴方向的晶格常数与a轴方向的晶格常数之比小于1.6；以及上电极，其位于所述压电膜上，并且隔着所述压电膜面对所述下电极，其中，所述压电膜由添加了钛、锆和铪中的至少一种的氮化铝制成，并且其中，钛、锆和铪中的所述至少一种布置在所述氮化铝的Al位中。